멀티패터닝(Multi-Patterning)

중국은 EUV 없이 어디까지 갈 수 있을까

CXMT가 11.95nm급 DRAM 미세화를 quadruple patterning으로 밀어붙였다. 이 사건의 핵심은 “중국이 따라잡았나”가 아니다. 최첨단 장비를 막았을 때 중국이 같은 결과에 도달하기 위해 얼마나 더 많은 공정과 비용을 치러야 하는지가 더 중요하다.

테크9월 21일SO WHAT